申请号：CN202322339565.X
分类号：B05B15/62
分类：一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
公开（公告）号：CN220496734U
公开（公告）日：2024年02月20日
发明名称：一种用于半导体晶圆的喷涂装置
发明人：徐越晨
申请人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日：2023年08月29日
代理机构： 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司
代理人：范伟民
地址：510700 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号
摘要：--
二、法律状态
申请状态公告日：2024年02月20日
法律状态：授权